Resistive Switching Phenomena of HfO2 Films Grown by MOCVD for Resistive Switching Memory Devices
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- Les films de HfO2 obtenus par dépôt chimique en phase vapeur à partir de précurseurs organométalliques ont été étudiés pour leur application dans les dispositifs ReRAM.
- Les caractéristiques bipolaires de commutation résistive ont été observées.
- Les états d'écriture et d'effacement mesurés à des valeurs aussi faibles que 7 uA et 4 uA respectivement à VREAD = 1 V.
- Une performance stable a été observée lors de 40 cycles répétitifs en courant continu avec des petites variations des tensions et des courants d'écriture/effacement.
- Une bonne rétention pendant plus de 105 secondes dans les deux états hautement et faiblement conducteurs a également été observée.
- Ces résultats suggèrent que les films HfO2 obtenus par dépôt chimique en phase vapeur à partir de précurseurs organométalliques sont un matériau prometteur pour la commutation résistive dans les applications ReRAM.
- Les points clés du texte sont :
- Étude des films HfO2 pour leur utilisation dans les dispositifs ReRAM
- Caractéristiques bipolaires de commutation résistive observées
- Performances stables lors de cycles répétitifs en courant continu
- Bonne rétention dans les deux états conducteurs
- Films HfO2 obtenus par dépôt chimique en phase vapeur à partir de précurseurs organométalliques sont prometteurs pour la commutation résistive dans les applications ReRAM.
Auteurs : Min Ju Yun, Sungho Kim, Hee-Dong Kim
Résumé : The resistive switching phenomena of HfO2 films grown by metalorganic chemical vapor deposition was studied for the application of ReRAM devices. In the fabricated Pt/HfO2/TiN memory cells, the bipolar resistive switching characteristics were observed, and the set and reset states were measured to be as low as 7 uA and 4 uA, respectively, at VREAD = 1 V. Regarding the resistive switching performance, the stable RS performance was observed under 40 repetitive dc cycling test with the small variations of set/reset voltages and currents, and good retention characteristics over 105 s in both LRS and HRS. These results show the possibility of MOCVD grown HfO2 films as a promising resistive switching materials for ReRAM applications.
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